Приказ Минобрнауки России от 06.07.2018 N 72 (с изм. от 15.12.2021) "Об утверждении устава Федерального государственного бюджетного учреждения науки Научно-технологического центра микроэлектроники и субмикронных гетероструктур Российской академии наук"